Publication Information

Title:
Three dimensional ALD of TiO2 for in-vivo biomedical sensor applications
Type:
Conference Proceedings
Info:
2015 6th IEEE International Workshop on Advances in Sensors and Interfaces (IWASI)
Date:
2015-06-18

Author Information

Name Institution
S. SchroderTechnische Universität Berlin
O. DoganTechnische Universität Berlin
Jessica SchneidewindSentech Instruments GmbH
G. BertottiTechnische Universität Berlin
S. KeilTechnische Universität Berlin
Hassan GargouriSentech Instruments GmbH
Michael ArensSentech Instruments GmbH
E. BroseTechnische Universität Berlin
J. BrunsTechnische Universität Berlin
D. WolanskyTechnische Universität Berlin
B. TillackTechnische Universität Berlin
S. VassanelliTechnische Universität Berlin
B. SzyszkaTechnische Universität Berlin
R. ThewesTechnische Universität Berlin

Films

Plasma TiO2


Film/Plasma Properties

Characteristic: Leakage Current
Analysis: I-V, Current-Voltage Measurements

Characteristic: Capacitance
Analysis: C-V, Capacitance-Voltage Measurements

Substrates

Keywords

Notes

546