Publication Information

Title:
Breakdown and Protection of ALD Moisture Barrier Thin Films
Type:
Journal
Info:
ACS Appl. Mater. Interfaces, 2015, 7 (40), pp 22121-22127
Date:
2015-09-24

Author Information

Name Institution
Frederik NehmTechnische Universität Dresden
Hannes KlumbiesTechnische Universität Dresden
Claudia RichterNaMLab gGmbH
Aarti SinghNaMLab gGmbH
Uwe SchroederNaMLab gGmbH
Thomas MikolajickNaMLab gGmbH
Tobias MönchTechnische Universität Dresden
Christoph HoßbachTechnische Universität Dresden
Matthias AlbertTechnische Universität Dresden
Johann W. BarthaTechnische Universität Dresden
Karl LeoTechnische Universität Dresden
Lars Müller-MeskampTechnische Universität Dresden

Films

Thermal Al2O3


Thermal TiO2


Thermal Alucone



Plasma SiO2


Plasma Al2O3


Film/Plasma Properties

Characteristic: Water Vapor Transmission Rate (WVTR)
Analysis: Calcium Test

Characteristic: Morphology, Roughness, Topography
Analysis: AFM, Atomic Force Microscopy

Characteristic: Density
Analysis: XRR, X-Ray Reflectivity

Substrates

Glass
Calcium

Keywords

Notes

396